¾îÇöóÀ̵å-¿ì½Ã¿À, Çõ½ÅÀû µðÁöÅÐ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú·Î AI ½Ã´ë ´õ¿í °­·ÂÇÑ ÄÄÇ»Æà ½Ã½ºÅÛ ±¸Çö Áö¿ø

  • ÁÖ¼Ò º¹»ç
  • ¹êµå °øÀ¯
  • ³×À̹ö °øÀ¯
  • Ä«Ä«¿ÀÅå °øÀ¯
  • ÆäÀ̽ººÏ °øÀ¯
  • Æ®À§ÅÍ °øÀ¯
Àç·á°øÇÐ ¼Ö·ç¼Ç ºÐ¾ß ±Û·Î¹ú ¼±µµ ±â¾÷ ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî(www.appliedmaterials.com/ko)°¡ ¿ì½Ã¿À(Ushio)¿Í Àü·«Àû ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ» ¸Î°í 3D ÆÐÅ°Áö¿¡ Ĩ·¿À» ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ Á¦Á¶ÇÏ´Â ¾÷°è ·Îµå¸ÊÀ» °¡¼ÓÈ­ÇÑ´Ù. ¾ç»ç´Â À̹ø ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ¸·Î ÀΰøÁö´É(AI) ÄÄÇ»Æà ½Ã´ë ÇÊ¿äÇÑ ÃÖ÷´Ü ±âÆÇ ÆÐÅʹ׿¡ Ưȭ ¼³°èµÈ ÃÖÃÊÀÇ µðÁöÅÐ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ½Ã½ºÅÛÀ» ÇÔ²² Ãâ½ÃÇÑ´Ù.

AI ¿öÅ©·Îµå°¡ ±Þ°ÝÈ÷ Áõ°¡µÇ¸é¼­ ¶Ù¾î³­ ±â´ÉÀ» °®Ãá ¹ÝµµÃ¼ Ĩ ¼ö¿ä°¡ ´Ã¾î³ª°í ÀÖ´Ù. ÀüÅëÀûÀÎ ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À¸·Î °¨´çÇÒ ¼ö ¾ø´Â ¼öÁØÀÇ AI ¹Ì¼¼È­°¡ ¿ä±¸µÇ¸é¼­ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀº ¸ð³î¸®½Ä(monolithic) Ĩ°ú µ¿ÀÏÇϰųª ±× ÀÌ»óÀÇ ¼º´É ¹× ´ë¿ªÆøÀ» Á¦°øÇϱâ À§ÇØ ÃÖ÷´Ü ÆÐÅ°Áö¿¡ ¿©·¯ Ĩ·¿À» ÅëÇÕÇÏ´Â ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ(HI¡¤Heterogeneous Integration) Á¦Á¶ ±â¼úÀ» Àû±Ø äÅÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è´Â Ãʹ̼¼ ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ® ÇÇÄ¡¿Í Ź¿ùÇÑ Àü±â¡¤±â°èÀû Ư¼º ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±Û¶ó½º¿Í °°Àº ½Å¼ÒÀç ±â¹ÝÀÇ ´ëÇü ÆÐÅ°Áö ±âÆÇÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÑ´Ù. ÆгΠ°¡°ø ºÐ¾ß¸¦ ¼±µµÇÏ´Â ¾îÇöóÀ̵å¿Í ÆÐŰ¡¿ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ºÐ¾ß¿¡¼­ ¸®´õ½ÊÀ» Áö´Ñ ¿ì½Ã¿À´Â À̹ø ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ¸·Î ÀÌ °°Àº ÀüȯÀ» ÃËÁøÇÑ´Ù.

¼ø´Ù¸£ ¶ó¸¶¹«¸£Æ¼(Dr. Sundar Ramamurthy) ¾îÇöóÀ̵å HI¡¤ICAPS¡¤¿¡ÇÇÅý᤹ݵµÃ¼ Á¦Ç° ±×·ì ºÎ»çÀå °â ÃÑ°ý¸Å´ÏÀú´Â ¡°¾îÇöóÀ̵åÀÇ »õ·Î¿î µðÁöÅÐ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú(DLT)Àº °í°´ÀÇ ÃÖ÷´Ü ±âÆÇ ·Îµå¸Ê¿¡ ´ëÇÑ ´ÏÁ Á÷Á¢ ÇØ°áÇÏ´Â ÃÖÃÊÀÇ ÆÐÅÍ´× ½Ã½ºÅÛ¡±À̶ó¸ç ¡°¾îÇöóÀ̵å´Â ´ëÇü ±âÆÇ °¡°ø¿¡¼­ÀÇ µ¶º¸ÀûÀÎ Àü¹®¼º, ¾÷°è¿¡¼­ °¡Àå Æø³ÐÀº HI ±â¼ú Æ÷Æ®Æú¸®¿À, dzºÎÇÑ ¿¬±¸°³¹ß ÀÚ¿øÀ» Àû±Ø È°¿ëÇØ °í¼º´É ÄÄÇ»ÆÃÀÇ Â÷¼¼´ë Çõ½ÅÀ» Áö¿øÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

Àª¸®¾ö ¸ÆŲÁö(William F. Mackenzie) ¿ì½Ã¿À ±¤ÀÚ ¼Ö·ç¼Ç ±Û·Î¹ú »ç¾÷ºÎ ±×·ì ÃÖ°íÃ¥ÀÓÀÚ °â ÃÑ°ý ¸Å´ÏÀú´Â ¡°¿ì½Ã¿À´Â ¾à 20³â µ¿¾È ÆÐŰ¡ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ÇÊ¿äÇÑ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÏ°í Àü ¼¼°è 4000¿©°³ ÅøÀ» Á¦°øÇß´Ù¡±¸ç ¡°»õ·Î ü°áµÈ ÆÄÆ®³Ê½Ê¿¡ µû¶ó ¿ì½Ã¿À´Â È®À强 ³ôÀº Á¦Á¶ »ýÅ°è¿Í źźÇÑ ÇöÀå ¼­ºñ½º ÀÎÇÁ¶ó¸¦ ÅëÇØ DLT µµÀÔÀ» ÃËÁøÇÏ°í, ±Þ¼Óµµ·Î Àü°³µÇ´Â ÆÐŰ¡ ±â¼ú ºÐ¾ßÀÇ ´ç¸é°úÁ¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ È®ÀåÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

»õ·Î¿î DLT ½Ã½ºÅÛÀº ÃÖ÷´Ü ±âÆÇ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ÇÊ¿äÇÑ ºÐÇØ´ÉÀ» ±¸ÇöÇÏ°í ´ë·® »ý»ê¿¡ ¿ä±¸µÇ´Â 󸮷®À» Á¦°øÇÏ´Â À¯ÀÏÇÑ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀÌ´Ù. ¼±Æø 2¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(µm) ¹Ì¸¸ ¹è¼± ÆÐÅÍ´×ÀÌ °¡´ÉÇÑ DLT ½Ã½ºÅÛÀ» È°¿ëÇÏ¸é ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç´Â ¿þÀÌÆÛ, ±Û¶ó½º ¹× À¯±â ¼ÒÀç·Î Á¦ÀÛµÈ ´ëÇü ÆгΠµî ¸ðµç Á¾·ùÀÇ ±âÆÇ¿¡ Ĩ·¿ ¾ÆÅ°ÅØó¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ÁýÀûµµ¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. DLT ½Ã½ºÅÛÀº ¿¹±âÄ¡ ¸øÇÑ ±âÆÇ ÈÚ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ°í ¿À¹ö·¹ÀÌ Á¤È®µµ¸¦ Á¦°øÇϱâ À§ÇØ Æ¯º°È÷ ¼³°èµÆ´Ù. ÀÌ¹Ì ¸¹Àº °í°´»ç¿¡ »ý»ê ½Ã½ºÅÛÀÌ ³³Ç°µÆ°í, ±Û¶ó½º ±âÆÇ Æ÷ÇÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ ÃÖ÷´Ü ÆÐÅ°Áö ±âÆÇ¿¡ 2µm ÆÐÅÍ´×ÀÌ ¼º°øÀûÀ¸·Î ±¸ÇöµÆ´Ù.

¾îÇöóÀ̵å´Â DLT ½Ã½ºÅÛ ±â¹Ý ±â¼úÀ» °³Ã´ÇßÀ¸¸ç ¿ì½Ã¿À¿Í Çù·ÂÀ» ÅëÇØ 1µm ÀÌÇÏ ÃÖ÷´Ü ÆÐŰ¡ ¼±ÆøÀ» À§ÇÑ ¿¬±¸°³¹ßÀ» Áö¼ÓÇÏ°í È®ÀåÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ¿ì½Ã¿À´Â dzºÎÇÑ Á¦Á¶ ±â¼ú ¹× ´ë¸é °í°´ ÀÎÇÁ¶ó¸¦ È°¿ëÇØ DLT µµÀÔÀ» °¡¼ÓÈ­ÇÑ´Ù. ¾ç»ç´Â À̹ø ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ¸·Î ÃÖ÷´Ü ÆÐŰ¡ ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ºÐ¾ß¿¡¼­ °¡Àå ¹æ´ëÇÑ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¼Ö·ç¼Ç Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ °í°´¿¡°Ô Á¦°øÇÑ´Ù.